Verdošā slāņa CVD krāsns

Modelis:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB ir verdošā slāņa CVD krāsns pulverveida virsmas uzklāšanai. Gāze nonāk kvarca caurules apakšā un iet uz augšu caur porainu kvarca plāksni, suspendējot pulveri 200 mm apsildāmajā zonā. 1200 mazāk nekā 1 stundā, 1150 grādos nepārtraukti.

Nosūtīt pieprasījumu

Tērzēšana tūlīt

Produkta ievads

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. ir viens no uzticamākajiem verdošā slāņa cvd krāsns ražotājiem un piegādātājiem Ķīnā. Laipni lūdzam mūsu rūpnīcā iegādāties augstas kvalitātes verdošā slāņa cvd krāsni par konkurētspējīgu cenu. Ja jums ir kādi jautājumi par sadarbību, lūdzu, rakstiet mums pa e-pastu.

Verdošā slāņa CVD krāsns

Specifikācija

Produkta pārskats

TOB-1200-LTS-FB ir verdošā slāņa CVD krāsns, kas paredzēta pulverveida virsmas nogulsnēšanas eksperimentiem. Augstas tīrības pakāpes kvarca caurules apakšējā daļā ir poraina kvarca plāksne; pulveris atrodas uz šīs plāksnes, gāze tiek ievadīta no caurules apakšas, un augšupejošā plūsma caur plāksni paceļ daļiņas tā, ka tās peld karsētajā zonā, kamēr notiek nogulsnēšanās.

Krāsns sasniedz 1200 grādus mazāk nekā 1 stundā un tur 1150 grādus nepārtraukti ar 200 mm sildīšanas zonu un 100 mm nemainīgas temperatūras zonu. Caurule ir pieejama Φ25 mm vai Φ50 mm ar 600 mm garumu, un porainā plāksne ir izgatavota atbilstoši jūsu pulverim nepieciešamajam poru izmēram. Divslāņu apvalks ar gaisa dzesēšanu, dalīts krāsns korpuss cauruļu maiņai, kvarca caurules aizsargs un mehānisks spiediena samazināšanas vārsts ir visi standarti.

Galvenās TOB-1200-LTS-FB inženiertehniskās īpašības

Paredzēts pulvera uzklāšanai:porainā kvarca plāksne un apakšējā gāzes ieplūde pastāv tā, ka daļiņas tiek suspendētas apsildāmajā zonā, nevis tikai ievietotas tajā.

Divslāņu apvalks ar gaisa dzesēšanu:ārējā apvalka paliek vēsāka nekā vienas sienas krāsns ar tādu pašu kameras temperatūru.

Sadalīts, atverams krāsns korpuss:korpuss atveras, lai kvarca cauruli varētu nomainīt, neizjaucot krāsni.

Kvarca caurules aizsargs:vairogs ap cauruli novērš ievainojumus, ja kvarcs saplīst vakuuma vai termiskā šoka ietekmē.

Mehāniskais drošības spiediena samazināšanas vārsts:aizsargā pret pārspiedienu, ja porainā kvarca filtra plāksne tiek bloķēta.

Alumīnija oksīda kamera ar augstas temperatūras pārklājumu:augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda šķiedras izolācija ar ASV importētu augstas temperatūras alumīnija oksīda pārklājumu uz kameras virsmas, lai nodrošinātu augstāku sildīšanas efektivitāti un ilgāku kameras kalpošanas laiku.

HRE sakausējuma sildelementi:1200 grādi sasniedzami mazāk nekā 1 stundā, 1150 grādi nepārtraukti, ±1 grāda precizitāte uz K veida termopāra.

Nerūsējošā tērauda blīvējuma komplekts:Divkāršs silikona O veida gredzena atloka komplekts standarta aprīkojumā ar papildu sūkņu komplektiem līdz 5 × 10⁻¹ Pa (mehāniski) vai 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Pilnīgas specifikācijas

1. Krāsns korpuss un termiskās specifikācijas

Parametrs	Specifikācija
Iekārtas jauda	110V 1,2KW
Kameras materiāls	Augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda šķiedras materiāls
Sildīšanas elements	HRE augstas temperatūras sakausējuma stieple
Maksimālā temperatūra	1200 grādi (mazāk par 1 stundu)
Nepārtraukta temperatūra	1150 grādi (nepārtraukts)
Temperatūras precizitāte	±1 grāds
Termopāris	K veida termopāris
Maksimālais sildīšanas ātrums	Mazāks par vai vienāds ar 20 grādiem/min
Kameras izmērs	80 mm × 200 mm
Apkures zonas garums	200mm
Pastāvīgas temperatūras zonas garums	100mm

2. Kvarca caurule un poraina plāksne

Parametrs	Specifikācija
Caurules izmērs	Φ25 mm vai 50 mm × 600 mm
Caurules materiāls	Īpaši izgatavota augstas tīrības pakāpes kvarca caurule
Porainas kvarca plāksnes poru izmērs	4–550 μm, pieejamas un pielāgojamas vairākas specifikācijas

3. Vakuuma un blīvēšanas sistēma

Vienums	Specifikācija
Blīvēšanas sistēma	Standarts: viens dubultā silikona O veida gredzena nerūsējošā tērauda blīvējuma atloka komplekts ar mehānisku drošības spiediena samazināšanas vārstu un kvarca caurules aizsargu
Vakuums, mehāniskais sūkņu komplekts	5 × 10⁻¹ Pa (pēc izvēles)
Vakuums, turbo sūkņu komplekts	5 × 10⁻³ Pa (pēc izvēles)

4. Izmēri, svars un garantija

Vienums	Specifikācija
Ārējie izmēri	510 mm × 430 mm × 1000 mm
Neto svars	Apmēram 35 kg
Garantija	Viena gada garantija, mūža tehniskais atbalsts

5. Izejmateriāli un garantijas izņēmumi

Vienums	Detaļas
Palīgmateriāli nav iekļauti	Sildelements, termopāris, paraugu tīģelis un līdzīgas patērējamās daļas nav iekļautas
Kodīgas un skābas gāzes	Garantija neattiecas uz bojājumiem, kas radušies korozīvu gāzu un skābu gāzu lietošanas rezultātā

Vadības sistēma

Kontrolieris darbojas ar iegulto operētājsistēmu ar 7 collu īsto krāsu skārienekrānu. Atkārtojamam pulverveida CVD darbam ir svarīgas četras funkcijas:

Funkcija	Detaļas
Saglabātās temperatūras līknes	15 temperatūras līknes var iepriekš saglabāt, tāpēc cits eksperimentālais process nav jāiestata no jauna
Iegultā operētājsistēma	Pārslēdzams ķīniešu/angļu grafiskais interfeiss, 7 collu īsto krāsu skārienekrāna ievade, viedais cilvēka un mašīnas dialoga režīms
Nelineāra temperatūras korekcija	Nelineāra parauga temperatūras korekcija, lai parādīto vērtību saskaņotu ar izmērīto parauga temperatūru
Plānotais sākums	Pieejama kā papildu funkcija, tāpēc var iestatīt, lai skriešana sāktos izvēlētajā laikā
Sistēmas aizsardzība	Pārmērīgas temperatūras trauksme, termopāra pārtraukuma indikācija un aizsardzība pret noplūdēm

Tālāk redzamie ekrānuzņēmumi atbilst iepriekš minēto rindu secībai: saglabātā līkņu bibliotēka, līkņu redaktors, pārslēdzams interfeiss, nelineāra korekcija, ieplānots starts un divi aizsardzības trauksmes signāli.

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body